能力的设备公司；当前刻蚀、薄膜沉积、量测等核心环节国产化率持续提升，国产设备正从量变走向质变。

　　截至2026年6月24日 13:05，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.26%，成分股中科飞测上涨10.09%，芯源微上涨8.52%，中芯国际上涨8.27%，神工股份，安集科技等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨3.89%， 冲击7连涨。最新价报2.7元。

　　科创ETF鹏华紧密跟踪上证科创板设备主题指数，上证科创板设备主题指数选取科j6国际创板内业务涉及半导体材料和等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

　　数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、、、华峰测控、、天岳先进、中船特j6国际气，前十大合计占比72.71%。