
Al是半导体(dǎotǐ)集成电路中最常用的薄膜导体(dǎotǐ)材料,
电子器件和集成电路的密封材料主要是陶瓷和塑料。最早用于封装的材料是陶瓷和金属,
随着电路密度和功能的不断提高(tígāo),对封装技术提出了更多更高的要求,从过去的金
属和陶瓷封装为主转向塑料封装。至今,环氧树脂系密封材料占整个电路基板密封材料的
树脂密封材料的组成为环氧树脂(基料树脂及固化剂)、填料(二氧化硅)、固化促进剂、偶
联剂(用于提高(tígāo)与填料间的润湿性和粘结性)、阻燃剂、饶性赋予剂、着色剂、离子
捕捉剂(腐蚀性离子的固化)和脱模剂等。目前,国外80%~90%半导体器件密封材料(日本
Al2O3陶瓷基片由于原料丰富、强度(qiángdù)、硬度高、绝缘性、化学稳定性、与金属附着
性良好,是目前应用最成熟的陶瓷基封装材料。但是Al2O3热膨胀系数和介电常数比Si高,热导率
AlN具有优良的电性能和热性能,适用于高功率,多引线和大尺寸封装。但是AlN存在烧结温度
SiC陶瓷的热导率很高,热膨胀系数较低,电绝缘性能良好,强度(qiángdù)高。但是SiC介电常
耐热性和耐化学腐蚀性好、吸水率低,成型(chéngxíng)工艺性好等特点
密度为2.4-2.5g/cm3, 可用于微波线路、光电转换器和集成线路的封
提高Si含量,可降低热膨胀系数(péng zhàng xìshù)和合金密度,但
合金的热导率和热膨胀系数(péng zhàng xìshù)较高, Si颗粒较小的合
C纤维的纵向热导率高(1000W/(m·k)),热膨胀系数很小(-1.6×10-
6K-1因),此Cu/C纤维封装材料具有优异的热性能。对于(duìyú)Cu/C纤维
,Cu/C 纤维封装材料的界面结合是以机械结合为主的物理结合, 界面结合较弱
题,以实现界面的良好结合。此外,C纤维价格昂贵,而且Cu/C纤维封装材料
)和被连接材料(如印刷电路板、电子元器件等)以及(yǐjí)连接后清洗所
2.)满足球栅阵列(BGA)、芯片级(CSP)、多芯片组件(MCM)等先
3.)无卤、锑元素,绿色环保,适用于无铅焊料(hànliào)工艺的高温
和集成化的方向发展。轻质、高导热和CTE匹配的Si/Al、SiC/Al合金
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