
基板包括高温共烧陶瓷基板(基板包括高温共烧陶瓷基板(HTCCHTCC))
AlAl是半导体集成电路中最常用的薄膜导体材料,其缺点是抗电子迁移能是半导体集成电路中最常用的薄膜导体材料,其缺点是抗电子迁移能
力差。力差。CuCu导体是近年来多层布线中广泛应用的材料,导体是近年来多层布线中广泛应用的材料,AuAu,,AgAg,,NiCrAuNiCrAu,,
TiTi——AuAu,,TiTi——PtPt——AuAu等是主要的薄膜导体。为降低成本,近年来采用等是主要的薄膜导体。为降低成本,近年来采用CrCr——
要为聚合物要为聚合物,,后者为后者为SiSi0202,,SiSi33NN44
Al2O3陶瓷基片由于原料丰富、强度、硬度高、绝缘性、化学稳定性、与金属附着性良好,是目前应用最成熟的陶瓷基封装材料。但是Al2O3热膨胀系数和介电常数比Si高,热导率不够高,限制了其在高频,高功率,超大规模集成封装领域的应用。
AlN具有优良的电性能和热性能,适用于高功率,多引线和大尺寸封装。但是AlN存在烧结温度高,制备工艺复杂,成本高等缺点,限制了其大规模生产和使用。
SiC陶瓷的热导率很高,热膨胀系数较低,电绝缘性能良好,强度高。但是SiC介电常数太高,限制了高频应用,仅适用于低频封装。
环氧模塑料(EMC)具有优良的粘结性、优异的电绝j6国际官网缘性、强度高、耐热性和耐化学腐蚀性好、吸水率低,成型工艺性好等特点。环氧塑封料目前存在热导率不够高,介电常数、介电损耗过高等问题急需解决。可通过添加无机填料来改善热导和介电性质。
有机硅封装材料:硅橡胶具有较好的耐热老化、耐紫外线老化、绝缘性能,主要应用在半导体芯片涂层和LED封装胶上。将复合硅树脂和有机硅油混合,在催化剂条件下发生加成反应,得到无色透明的有机硅封装材料。环氧树脂作为透镜材料时,耐老化性能明显不足,与内封装材料界面不相容,使LED的寿命急剧降低。硅橡胶则表现出与内封装材料良好的界面相容性和耐老化性能.
C纤维的纵向热导率高(1000W/ (m· k) ),热膨胀系数很小(- 1. 6×10-6K-1因),此Cu/C纤维封装材料具有优异的热性能。对于Cu/C纤维封装材料,其具有明显的各向异性,沿着C纤维方向的热导率远高于横向分布的热导率。
Cu与C的润湿性差,固态和液态时的溶解度小,且不发生化学反应。因此,Cu/C 纤维封装材料的界面结合是以机械结合为主的物理结合, 界面结合较弱。所以,Cu/C纤维封装材料制备过程中需要首先解决两组元之间的相溶性问题,以实现界面的良好结合。此外, C纤维价格昂贵,而且Cu/ C纤维封装材料还存在热膨胀滞后的问题。
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